Laut Nachrichten vom 1. Juli wurde gestern berichtet, dass alle DUV-Lithographiemaschinen unter ASML für den Export zugelassen werden müssen.
Auch diese Aussage sorgte für heftige Diskussionen, doch ASML reagierte.
Laut ASML betreffen die Exportkontrollbestimmungen nur einige der neuesten DUV-Modelle, darunter TWINSCAN NXT: 2000i und nachfolgende Immersionslithographiesysteme. EUV-Lithografiemaschinen waren bisher eingeschränkt und der Versand anderer Systeme unterliegt keiner Kontrolle.
Darüber hinaus gab ASML an, dass die oben genannten Regelungen erst am 1. September in Kraft treten würden und sie bereits einen Lizenzantrag eingereicht haben.
Daher sind die vor dem oben genannten Zeitpunkt ausgelieferten DUV-Lithographiegeräte möglicherweise nicht betroffen, und der TWINSCAN NXT:1980Di, über den die Branche zuvor spekuliert hat, wird nicht betroffen sein.
Zuvor sagten die Führungskräfte von ASML, einem großen Hersteller von Lithografiemaschinen, dass die Halbleiterindustrie nur zusammenarbeiten könne, um eine völlig unabhängige Industriekette aufzubauen, auch wenn dies nicht unmöglich, aber äußerst schwierig sein werde.
